研究内容：（1）关键部件与分系统研究与设计。包括高精度投影曝光系统、高精度高速六自由度工件台、高精度激光干涉仪位置测量及环境系统、高精度快速逐场调焦调平系统的研究与设计，以及曝光场拼接解决方案等。（2）整机集成与光刻工艺验证。对各系统进行测试并集成为投影光刻机。根据用户实际产线及工艺要求，对光刻机进行工艺验证，实现设备与相关工艺制程的同时交付。

　　经费额度：本方向各项研究内容支持额度均不超过400万元。

　　方向4、稀土材料深加工技术及在新能源中的应用技术研究

　　研究目标：掌握高磁能积、高矫顽力、高服役稳定性烧结钕铁硼永磁材料的产业化制备技术，磁体综合磁性能（BH）max（MGOe）＋Hcj（kOe）≥70，建成年产千吨级规模化生产线，并实现高性能永磁体材料在风力发电机、新能源汽车电机上的规模化应用。

　　研究内容：（1）研究高性能稀土烧结磁体微结构与性能的关系，开发微结构优化工艺控制技术。研究满足应用要求的高服役性、高磁能积、高矫顽力的稀土永磁体大批量生产技术；（2）研究大型永磁直驱电机动态仿真测试技术，研发用于大型风力发电机的新型磁钢快速仿真测试系统，掌握大型永磁直驱风力发电机动态技术参数仿真测试技术，形成100KW～1000KW的测试能力；（3）研究混合动力/纯电动汽车驱动用永磁磁阻同步电机的轻量比、小型化设计与制造技术。

　　经费额度：本方向各项研究内容支持额度均不超过300万元。

　　方向5、飞机发动机与电站装备用高温合金材料研制

　　研究目标：构建高可靠性、长寿命、低成本、符合适航性审定要求的大客发动机材料体系，并试制出符合装机试验要求的涡轮盘和大型涡轮承力机匣；构建700℃以上超超临界火电机组用高温材料体系和发展技术路线图，突破锅炉用小口径高温合金钢管设计与制造技术。

　　研究内容：（1）研究建立大客发动机材料标准体系和标准数据库；开展飞机发动机关键材料可靠性评测方法及测试验证研究，提出适合工程设计可靠性及定寿要求的参考数据，确立评价和测试方法。（2）研究涡轮盘用合金成分优化、冶炼及锻造工艺，完成典型涡轮盘件和坯料的全面性能评价。（3）研究涡轮级间机匣与后机匣用合金的成分设计、冶炼、铸锻及热处理工艺，分析缺陷产生机理，掌握处理过程中的组织与缺陷控制技术。（4）开展700℃及以上超超临界火电机组关键材料体系研究，制订关键材料的技术路线图和行动方案，以锅炉用高温过热器管材为突破口，试制出符合700℃参数超超临界机组设计要求的高温过热器管。

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